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水晶振動子ができるまで〜その1(水晶片製作)〜 |
1.人工水晶 |
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人工水晶は、ラスカと呼ばれる天然水晶を種水晶に再結晶させる水熱合成法で育成します。アルカリ溶液に満たしたオートクレープの大きな容器の中で約350℃、1000気圧に保ちYバー人工水晶は約30日間、Zプレート人工水晶は約90日間の経て良質な人工水晶ができます。 |
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2.ランバート加工 |
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人工水晶のX.Y.Z軸を明確にするために表面を研削加工します。 |
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3.ウェハ−切断 |
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人工水晶を所定の角度でウェハー状に機械切断します。所定の角度で周波数温度特性が決まります。 |
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4.厚み研磨 |
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周波数は水晶片の厚みで決まります。研磨工程を数段階ふみ、研磨剤の粒度を次第に細かくして、ウェーハ−の厚みを整えます。 |
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5.外形加工 |
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6.周波数調整研磨 |
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7.ベベル加工 |
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水晶片中央部に振動を集中させるためにエッジを研削します。(約10MHz以下に適用) |
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8.エッチング・洗浄 |
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研磨で生じた加工層を科学的に取り除き、同時に周波数精度を高め、その後科学液で洗浄します。 |
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9.水晶片の完成 |
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〜その2(蒸着・組み立てへ)〜
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